LED外延片PL谱检测仪

LED外延片PL谱检测仪用于生产线检测各种LED外延片质量与工艺控制，通过对外延片的逐点扫描检测，获得外延片的积分光强、主波长、峰值波长、光谱半宽、膜厚、表面粗糙度等参数，以mapping形式显示分布及数据，并可获得相应的截面分布图和显示单点光谱；显示各个参数的统计结果，显示选择范围的各项统计参数；具有离线处理、局部扫描，对扫描结果可以进行去孤立点和去边等功能。全部检测及数据处理由计算机自动完成，界面友好、操作简单、价格低廉、质量可靠。
    LED外延片扫描荧光光谱成像仪可以根据不同的外延片，选用不同的激光器。

技术参数：光谱分辨率优于1nm
可测光谱范围400-800nm
单次测谱宽度10-300nm
测量点256X256、128X128、64X64、32X32点/2英寸
测量时间少于1分钟（32X32点）